DIN 50451-3-1994 半导体工艺用材料的检验.液体中金属微量的测定.用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中铝(AL),钴(Co),铜(Cu),钠(Na),镍(Ni),锌(Zn)的含量

作者:标准资料网时间:2024-05-20 11:51:16 浏览:9368 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationoftracesofmetalsinliquids-Part3:Al,Co,Cu,Na,NiandZninnitricacidwithICP-MS
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.液体中金属微量的测定.用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中铝(AL),钴(Co),铜(Cu),钠(Na),镍(Ni),锌(Zn)的含量
【标准号】:DIN50451-3-1994
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1994-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:质谱学;半导体工程;铝;金属;钴;化学分析和试验;钠;硝酸;液体;材料;镍;试验;半导体;分析;半导体工艺;含量测定;痕量元素分析;锌
【英文主题词】:chemicalanalysisandtesting;semiconductorengineering;cobalt;sodium;semiconductors;aluminium;nickel;nitricacid;zinc;liquids;massspectrometry;analysis;determinationofcontent;testing;traceelement
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语

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